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產品名稱:

TOC超純水設備

發布時間: 2024/12/25 有效時間: 2025/6/26

詳細介紹

TOC超純水設備

微電子行業制備超純水流程中,因紫外線技術在超純水高品質要求中不引入新的物質,而得到廣泛應用。

有機物是超純水系統中最難控制的污染,隨著集成電路臨界尺寸不斷縮小挑戰,對超純水中TOC值的要求越來越高,因此,如何配置紫外線,如何確認配置中紫外線設備的有效紫外劑量,進而使TOC去除合格且水中溶解氧不升高,安力斯將為您解決這些運營困擾。

185nmUV主要用于去除超純水制備過程中的TOC,使出水滿足美國ASTM超純水水質標準及電子工業部電子級水水質標準。

產品介紹:

EX-UPW-TOC產品系列是一款適用于超純水 (UPW) 制備中對總有機碳 (TOC) 進行降解的可靠系統。通過更高185nm穿透率、實時在線的紫外線強度監測、本地/遠程的智能控制,實現高效、安全可控的總有機碳 (TOC) 降解。該設備在超純水制備工藝中,可使超純水TOC降至1ppb以下。

產品主要組成:高強度185nm的紫外燈管,高輸出石英套管,內外電解拋光的一體化紫外反應器,高度精確的UV強度傳感器及智能自控系統組成。


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TOC超純水設備

產品規格:

處理水量

2~60m3/h

燈管配置

12~48支

燈管類型

85w/155w(185/254nm雙波段)

石英套管

T>80%@185nm

鎮流器

50~100%輸出功率可調

反應器材質

316L

潔凈等級

內外電解拋光、表面光潔度10以上(≤Ra0.2)

法蘭尺寸

DN50~DN200

額定壓力

PN10

控制柜等級

IP55,碳鋼噴塑

控制系統

本地/遠程、觸摸屏、連接SCADA系統

UV強度傳感器

分辨率0.01mw/cm2






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